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簡要描述:晶圓 2D/3D AOI 檢驗(yàn)顯微鏡進(jìn)料的wafer,經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer,避免了污染和損傷wafer。
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晶圓 2D/3D AOI 檢驗(yàn)顯微鏡性能描述:
標(biāo)準(zhǔn)配備1個Load port,單臂翻轉(zhuǎn)Robot,Pre-aligner,目檢臺和顯微鏡。
兼容8寸和12寸wafer。
標(biāo)準(zhǔn)load port可以對應(yīng)FOUP,AutoFOSB自動開蓋,具備mapping功能。
高精度運(yùn)動機(jī)構(gòu),低噪音,低塵,無需供油。
觸摸屏操作,界面友好。
晶圓 2D/3D AOI 檢驗(yàn)顯微鏡對應(yīng)GEM300,采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)軟件。
公司為您提供全自動晶圓2D/3D AOI光學(xué)檢驗(yàn)機(jī)的參數(shù)、價格、型號、原理等信息,全自動晶圓2D/3D AOI光學(xué)檢驗(yàn)機(jī)產(chǎn)地為日本、品牌為--,型號為GBIT-WA-100,價格為面議,更多相關(guān)信息可咨詢,公司客服電話7*24小時為您服務(wù)。
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